Download PDF by Thomas Elbel: Mikrosensorik: Eine Einführung in Technologie und

By Thomas Elbel

ISBN-10: 3528033770

ISBN-13: 9783528033774

ISBN-10: 3663058395

ISBN-13: 9783663058397

Die Mikrosensorik als Teilgebiet der Mikrosystemtechnik hat einen rasanten Aufschwung genommen. Zur Lösung der grundsätzlichen Aufgabenstellung der Sensorik - der elektrischen Messung vorwiegend nichtelektrischer Meßgrößen- wurde in den zurückliegenden 10 Jahren eine Vielzahl neuer Mikrosensoren mit zum Teil hervorragenden Sensorparametern und mit völlig neuen Anwendungsmöglichkeiten entwickelt. Das Buch will einen Einblick in dieses faszinierende Arbeitsgebiet vermitteln. Das Buch ist als Lehrbuch konzipiert. Es entstand aus meiner Gastvorlesung "Thermische Sensoren/Mikrosensoren" an der ETH Zürich und aus einem Skript für die Vorlesung "Sensoren/Mikrosensoren" an der FH Hannover. Das Buch wendet sich in erster Linie an Studierende, vor allem an Studenten elektrotechnischer Disziplinen. In der meßtechnischen Praxis und in der angewandten Forschung tätige Ingenieure können das Buch zur Einarbei­ tung in die Mikrosensorik anwenden. Zum Verständnis des Buches sind keine besonderen theoretischen Vorkenntnisse erforderlich. Für Leser ohne Vorkenntnisse auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie wurden im Kapitel 2 die für die Mikrosensorik wichtigen technologischen Verfahren wie Fotolithografie oder Silizium-Mikromechanik in knapper shape dargestellt. Für ein vertiefendes Studium dieses umfangreichen Fachgebietes wird auf die angegebene Literatur verwiesen. Nach der zusammenfassenden Beschreibung der für alle Mikrosensoren gemeinsamen techno­ logischen Grundlagen werden in den Kapiteln three bis 7 die Sensoren mit ihrer physikalischen Wirkungsweise, ihrem technologischen Autbau und ihren wesentlichen Eigenschaften be­ schrieben. Die Gliederung erfolgt nach der paintings der Meßgröße.

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Dazu wird das Substrat vorgewärmt und das Bondwerkzeug erhitzt die Fügestelle impulsförmig auf die erforderliche Prozeßtemperatur. Bei den in der Mikroelektronik am häufigsten angewendeten Drahtbondverfahren, dem Ball-Wedge-Bonden und dem Wedge-Wedge-Bonden wird das Drahtende durch eine kleine Flamme oder durch eine elektrische Entladung aufgeschmolzen und mit der Oberfläche verschweißt. 1 Was versteht man unter einem Mikrosensor? 2 Welche Gemeinsamkeiten und welche Unterschiede bestehen zwischen Mikroelektronik und Mikrosensorik?

Wird nur Strahlung aus einem bestimmten differentiellen Wellenlängenbereich um die Wellenlänge A. 1 Grundlagen 55 - spektraler Strahlungsfluß i/Jt.. - spektrale spezifische Ausstrahlung Mt.. - spektrale Strahldichte Lt.. B. s). Ein schwarzer Strahler oder ein schwarzer Körper ist ein Körper, der keine auf ihn auftreffende Strahlung reflektiert, sondern alle auf ihn auftreffende Strahlung absorbiert. 5) sind Absorptionskoeffizient a und Emissionskoeffizient e gleich 1, wenn der Reflexionskoeffizient Q Null ist, wie es definitionsgemäß für einen Schwarzstrahler zutrifft.

70 oq I K. Mit Präzisionsthermistoren [Yel69], bei denen die Exemplarstreuungen geringer als 0,1% sind, kann im Temperaturbereich von 0 °C bis 100 oc auf 0, I K genau gemessen werden. Allerdings ist der Preis dieser Thermistoren entsprechend höher. Obwohl Miniaturthermistoren mit einem Pillendurchmesser von 0,1 mm zu den miniaturisierten Sensoren gehören, stellen sie entsprechend der Mikrosensordefinition keine Mikrosensoren dar, weil die Sintertechnologie nur mit großen Einschränkungen mikroelektronik-kompatibel ist.

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Mikrosensorik: Eine Einführung in Technologie und physikalische Wirkungsprinzipien von Mikrosensoren by Thomas Elbel


by Jeff
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